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混响室

主要功能：材料、零部件、总成件吸声系数及隔声量测量；噪声传递函数测试。
主要技术指标：本底噪声：14dB（A）；混响时间及声场均匀度等信息请联系确认。
主要学科领域：信息与系统科学相关工程与技术
服务内容：
用户须知：

已测试 12 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

八寸半自动探针台

主要功能：新型Cascade Summit200先进的200mm探针台对于尽可能快地收集单个或大量晶圆高精度测量数据至关重要。 Summit200为研发、器件表征、建模或小批量生产而设计，确保低噪声、DC、RF、mmW和THz的精确测量，确保以最快的速度获取精确数据，可提供半自动或全自动方案。
主要技术指标：载物台尺寸200mm向下兼容，载物台X-Y行程203mm*203mm，载物台X-Y轴分辨率0.2μm，载物台X-Y轴重复性小于等于1.5μm，温度范围-60~300℃等。
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：半导体参数测量，反馈电压-电流分析，带记录装置，测试结果显示电压值，电流值，电容值等。
用户须知：

已测试 68 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

低温探针台(半导体参数分析仪)

主要功能：半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台
主要技术指标：10-400K，0-5000Oe,0-360deg
主要学科领域：物理学
服务内容：多物理场下的输运测试
用户须知：按小时收费

已测试 13 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

飞秒激光及光梳系统

主要功能：能实现两台激光器的快速拍频锁定
主要技术指标：光梳重复频率：250 MHz 精度：10-14或者是与参考时钟精度一样 稳定性：5×10-13在1s内，或者是与参考时钟精度一样 重复频率调谐范围：>2 MHz 偏置频率调谐范围：>250 MHz 输出端口：三个光纤耦合输出端口，输出中心波长1560 nm，频谱范围>25nm，每个端口的输出功率大于18mW 输出端口：自由空间输出端口，输出中心波长780 nm，频谱范围>20nm，输出功率大于150 mW 输出端口：自由空间输出端口，输出中心波长633 nm，频谱范围>3nm，输出功率大于5mW
主要学科领域：机械工程
服务内容：用作绝对距离测量的光源
用户须知：

已测试 14 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

模拟信号发生器

主要功能：1、单边带相位噪声非常小（最纯净的信号） 2、宽带噪声非常低，接近于0（最低的谐波和非谐波分量） 3、超高的输出功率 4、采用触摸显示屏的先进图形用户界面
主要技术指标：1、频率范围：8 kHz至67 GHz 2、宽带噪声：< -150dBc, 3GHz-6GHz 3、最大输出功率保证值：+20 dBm @ 1 MHz＜ f ≤ 18 GHz（spec） 4、谐波分量(10 MHz ~ 67 GHz)：≤-55 dBc 5、支持AM、FM、Φm以及脉冲调制
主要学科领域：电子与通信技术
服务内容：1、仪器设备操作培训；2、分析测试
用户须知：

已测试 66 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

减薄机

主要功能：适用半导体、集成电路领域中的晶圆背面研磨加工
主要技术指标：（1）研磨厚度：最小量产厚度100μm，极限减薄厚度25μm；（2）片内厚度均匀性：TTV≤±1.5μm；（3）片间厚度均匀性：WTW≤±1.5μm；（4）粗糙度：粗磨（3000#磨轮）Ra≤10nm，细磨（7000#磨轮）Ra≤5nm（以实际数据为准）。
主要学科领域：电子与通信技术,力学
服务内容：适用半导体、集成电路领域中的晶圆背面研磨加工，可对外承接委托加工订单。
用户须知：

已测试 10 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

光波元件分析仪

主要功能：ROF系统元件分析与测量
主要技术指标：配合67GHz矢量网络分析仪使用
主要学科领域：自然科学相关工程与技术
服务内容：ROF系统元件分析与测量
用户须知：无

已测试 20 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

主要功能：开展高加速寿命试验。
主要技术指标：温度：(-100~200)℃；振动：≤75g；加速度总均方根：(5Hz~10kHz)
主要学科领域：工程与技术科学基础学科
服务内容：开展环境与可靠性试验
用户须知：

已测试 2 次平均 7 个工作日完成 100% 对测试结果满意

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